سیستم تمیز کردن لیزر برای تمیز کردن ابزار PVD می تواند به طور موثر پوشش چند لایه، بدون آسیب مکانیکی، هیچ آسیبی به سطح جوش یا مهر و موم، کاهش زمان چرخه حرارت، هیچ واکنش های زیست محیطی و شیمیایی، هیچ آلاینده های ثانویه بدون نیاز به تمیز کردن، واکنش کلی تمیز کردن محفظه فقط چند ساعت می تواند انجام شود.
فن آوری تمیز کردن لیزر حتی می تواند جدی ترین روش برای پاکسازی فازهای بخار، از جمله پوشش های کربن الماس مانند و سایر پوشش مقاوم در برابر سایش را برطرف کند. قدرت لیزرهای همراه با این "پوشش ضد گلوله" تبخیر می شود. در نهایت، پایه های فلزی دقیق را می توان با خیال راحت و بدون آسیب و پاکسازی تولید کرد. محفظه پلاسما می تواند به صورت دستی یا نیمه اتوماتیک در حین تمیزکردن از پوشش لیزر موثر باشد.
رسوب بخار فیزیکی PVD به فرایند انتقال یک ماده یا یک مولکول از یک منبع به یک سطح فرعی توسط یک فرایند فیزیکی اشاره دارد. عملکرد آن این است که برخی از ذرات با خواص خاص (مقاومت بالا، مقاومت در برابر سایش، افتاب گرما، مقاومت در برابر خوردگی، و غیره) اسپری بر بدن مادر عملکرد پایین، به طوری که بدن مادر دارای عملکرد بهتر است. با این حال، در این فرایند، لایه ی اسپری لایه نه تنها به سطح هدف بستگی دارد، بلکه با سطوح ابزار و وسایل مورد استفاده برای نگهداری قطعات داخل اتاق واکنش نیز ادغام می شود. سیستم تمیز کننده لیزر می تواند به طور موثر سطح ابزار PVD را تمیز کند، از اجتناب از اثرات نامطلوب مواد پوشش PVD بیش از حد، از جمله کاهش تحمل قطعه کار، ضعیف شدن آب بندی اتاق واکنش، منجر به افزایش رطوبت و مدت زمان گرمایش می شود.
