همانطور که همه ما می دانیم، تنها یک سازنده در جهان وجود دارد که می تواند لیتوگرافی EUV را تولید کند، آن تولید کننده استASML هلند.
دلیل وجود تنها یک تولید کننده در جهان این است که ASML بسیاری از تولیدکنندگان کلیدی مانند Zeiss (Zeiss)، یک شرکت اپتیک آلمانی، Cymer (ایالات متحده آمریکا) وTRUMPF (آلمان).
ASML از طریق سرمایه گذاری، تملک، سهامداری، ایجاد مراکز تحقیقاتی و ... این تولیدکنندگان را به ارابه خود گره زده است و این تولیدکنندگان احتمالا تنها تولیدکنندگانی در جهان هستند که می توانند این محصولات را تولید کنند، بنابراین در نهایت تنها ASML در دنیا می تواند تولید لیتوگرافی EUV
با این حال، اخیراً، یک زنجیره تامین کلیدی ASML، برای ساخت یک کارخانه به شنژن، چین رفت و شعبه آن در شنژن در پارک نمایش صنعتی Baoan چین و آلمان (اروپا) مستقر شد.
این سازنده گروه TRUMPF آلمان (TRUMPF) است، لیتوگرافی EUV ASML، تنها تامین کننده منبع لیزر در جهان است.
محصولات TRUMPF در لیتوگرافی EUV چقدر مهم است؟ ابتدا، به توضیح من در مورد اصل لیتوگرافی EUV گوش دهید، متوجه خواهید شد.
اصل لیتوگرافی EUV، به بیان ساده، بر سه سیستم اصلی، سیستم منبع نور فرابنفش EUV، سیستم آینه شیئی و سیستم جدول متمرکز است.
فرآیند خاص استفاده از لیزر برای برانگیختن طول موج 13.5 نانومتری از نور فرابنفش شدید است، که سپس تصحیح میشود تا یک پرتو کنترلشده از نور را تشکیل دهد، که سپس قبل از اینکه از طریق یک آینه شیئی روی میز نوردهی شود، روی میز نور ماسک تابانیده میشود. و در نهایت بر روی یک ویفر سیلیکونی پوشیده شده با مقاومت نوری در مداری اچ می شود.
چگونه یکی از سیستم های منبع نور EUV UV با بمباران یک قطره فلزی قلع (Sn) با لیزر CO2 با قدرت 30 کیلووات، تبخیر آن به پلاسما و در نهایت به دست آوردن نور EUV در طول موج 13.5 نانومتر به دست می آید.
این لیزر 30 کیلوواتی CO2 توسط TRUMPF، تنها در جهان عرضه شده است.
این لیزر CO2 را دست کم نگیرید، دارای 457329 قطعه است، طول کابل در سیستم تا 7322 متر و وزن آن 17090 کیلوگرم است که یکی از مهمترین اجزای اصلی در لیتوگرافی EUV است.
اکنون TRUMPF برای ساخت یک کارخانه به چین دوید، قصد روشن است، یعنی خوشبینانه در مورد بازار لیزر چین، و حتی با دید بلندمدت تر، خوش بینانه در مورد بازار لیتوگرافی چین، آینده ممکن است با چین برای ساخت لیتوگرافی EUV همکاری کند. .
در واقع، در حال حاضر بیش از یک زنجیره تامین ASML در حال اجرا به چین برای ساخت یک کارخانه، KMWE و دیگر تولید کنندگان، همچنین به چین برای ساخت یک کارخانه وجود دارد.
با توجه به روند فعلی، ما می توانیم خوش بینانه انتظار داشته باشیم که ممکن است مدت زیادی طول نکشید که فناوری لیتوگرافی چین گام بزرگی به جلو خواهد بود و حتی حجم خروجی لیتوگرافی EUV نیز می تواند منتظر باشد، فکر می کنید؟
