با توجه به ویژگی های ماده بستر ، دقت سطح بستر ، زبری سطح و انواع آلاینده های ذرات ، روش های تمیز کردن لیزر فعلی را می توان به دو دسته زیر تقسیم کرد.
1) روش خشکشویی با لیزر. لیزر مستقیماً سطح جسم را تابانده ، ذرات را آلوده کرده یا انرژی سطح را جذب می کند و سپس با انتشار حرارتی ، تجزیه عکس و گاز شدن باعث می شود که ذرات از سطح خارج شوند.
2) روش تمیز کردن با لیزر. مقداری مایع آلوده (عمدتا آب ، بعضی اوقات الکل) را روی سطح ماده ای که تمیز می شود اسپری کنید و سپس با لیزر تابش دهید. پس از جذب انرژی لیزر ، محیط مایع تولید تبخیر انفجاری می کند و ذرات آلودگی اطراف خود را از سطح مواد دور می کند. علاوه بر این ، به اصطلاح روش تمیز کردن ترکیبات لیزر پیشنهاد شده است. انرژی لیزر توسط ماده بستر جذب می شود و سپس محیط میانی جذب شده توسط همرفت حرارتی گرم می شود و محیط میانی باعث تبخیر انفجاری می شود. ذرات با رانش زیاد هوا از سطح بستر بهمراه محیط میانی جدا می شوند.
