"پردازش گرم" پرتویی با لیزر با چگالی انرژی بالاتر (که یک جریان انرژی متمرکز است) بر روی سطح ماده در حال پردازش تابش می شود. سطح مواد انرژی لیزر را جذب می کند و فرآیند تحریک حرارتی را در ناحیه روشنایی ایجاد می کند ، به طوری که سطح ماده (یا پوشش) دمای هوا بالا می رود و در نتیجه دگرگونی ، ذوب ، فرسایش ، تبخیر و سایر پدیده ها افزایش می یابد.
فوتونهای "پردازش سرد" (ماوراء بنفش) با انرژی بار بالا می توانند پیوندهای شیمیایی موجود در مواد (بویژه مواد ارگانیک) یا محیط اطراف را شکسته و باعث شوند مواد متلاشی شوند. این فرآیند سرما از اهمیت ویژه ای در پردازش مارک لیزری برخوردار است ، زیرا فرسایش حرارتی نیست ، بلکه لایه برداری سرد است که بدون اثر جانبی "آسیب گرما" پیوندهای شیمیایی را می شکند ، بنابراین بر لایه داخلی و مناطق مجاور فرآوری شده تأثیر نمی گذارد. سطح باعث ایجاد گرمایش یا تغییر شکل حرارتی می شود. به عنوان مثال ، در صنعت الکترونیک از لیزرهای اگزیمر برای قرار دادن یک فیلم نازک از یک ماده شیمیایی روی یک ماده بستر برای ایجاد شیارهای باریک در یک بستر نیمه هادی استفاده می شود.
