لیزر یکی از بزرگترین اختراعات علوم طبیعی قرن بیستم است. در سال 1960، اولین لیزر در دنیا تولید شد. بعدها، ليزرهايي با هماهنگي خوب، زاويه دشمن كوچك و غلظت انرژي بالا به طور گسترده در حوزه هاي مختلف مانند ليزر، پردازش ليزر و ارتباطات ليزر استفاده شده است. در اوایل دهه 1980 مردم شروع به استفاده از پرتوهای لیزر با انرژی بالا برای روشن کردن سطح قطعه کار کردند و سطح خاک، زنگ زدگی یا پوشش را به طور همزمان تبخیر و یا پوست کردند و به طور موثر پیوست یا پوشش روی سطح شی در سرعت بالا فرایند تمیز کردن سطح مواد پاک کننده لیزر است. از ده سال گذشته، تمیز کردن لیزر از آزمایشگاه به کاربرد عملی، استفاده شده در قالب های مختلف محصولات لاستیکی، قالب های محصولات سیلیکون برای حذف روغن، زنگ، آثار فرهنگی، صفحات مدار میکرو الکترونیک و تمیز کردن مواد دیگر، و بسیار خوب اقتصادی و منافع اجتماعی.
در اواسط دهه 1980، به منظور پاسخگویی به نیازهای تولید صنعتی برای حذف ذرات کوچک در قالب های حافظه، تمیز کردن لیزر توجه و تحقیق گسترده ای را به خود جلب کرده و به عنوان یک روش تمیز کردن موثر که محققان سعی در استفاده از آن دارند، به رسمیت شناخته شده اند. روش های تمیز کردن معمولی مانند تمیز کردن مکانیکی، تمیز کردن شیمیایی و تمیز کردن التراسونیک برای حذف ذرات زیرمیکرون متصل به قالب کمتر از ایده آل است. از آنجا که نیروی جاذب ذرات در قالب (نیروی ون دالالس، نیروی الکترواستاتیک و غیره) کاملا شگفت انگیز است، مانند ذرات با اندازه ی 1 میکرو متر، نیروی جذب آن بر روی سطح قالب حدود 106 برابر آن است گرانش و روش تمیزکاری مکانیکی نمی تواند تکمیل شود. حذف ذرات کوچک، تمیز کردن شیمیایی می تواند منجر به خوردگی و دوباره پس زدن قالب شود. تمیز کردن التراسونیک نیاز به قالب را در مرکز ارتعاش صوتی قرار داده است، که باعث می شود که قالب به پارگی برسد. تمیز کردن لیزر تحت چنین شرایطی تولید می شود. در این مورد، مردم شروع به منظم نمودن آن کردند: ظاهر آن مسئله آلودگی را بر روی سطح قالب حل کرده است و با توسعه تکنولوژی تمیز کردن لیزر، آن نیز به طور گسترده ای در بسیاری از زمینه های دیگر مورد استفاده قرار گرفته است.
در اواخر دهه 1980، دانشمندان دریافتند پوشش سطح سوبسترا با یک لایه کمکی مایع موجب تخریب ذرات آلوده می شود. در میان آنها، آب چنین یک لایه کمکی موثر است. روش پوشش سطحی مقاله با یک فیلم مایع با ضخامت حدود میلیمتر و سپس با لیزر برای حذف ذرات آلوده از آن است که ما بعد از آن پاک کننده لیزر بخار (مرطوب) را در مقایسه با نوع خشک تمیز کردن لیزر، تمیز کردن لیزر بخار، راندمان تمیز کردن بیشتر است. تا اوایل دهه 1990 لیزر تمیز کردن واقعا به تولید صنعتی وارد نشد. در واقع، تقریبا در سال 1987، سه گروه تحقیقاتی به طور مستقل اثرات تمیز کردن لیزر را کشف کردند. در میان آنها تیم تحقیقاتی Zapka به رهبری Zapka اولین اختراع برای تمیز کردن لیزر را به دست آورد و چشم انداز کاربرد آن در صنعت را تشخیص داد. گروه تحقیق دیگری موسسه ماکس پلانک برای بیوشیمی و فیزیک در توکوی دانشمندان قالب سیلیکون با ذرات طلا با اندازه 35 نانومتر پوشیده شده بود و سپس لیزر مولکولی نیتروژن به طور مستقیم به سطح جامد تابش شد و در نتیجه ذرات طلا در سطح با موفقیت حذف شدند، در حالی که قالب سیلیکون آسیب دیده بود، که نشان می داد که لیزر برای تمیز کردن سطح جامد استفاده می شود. ذرات آلوده ممکن است.
در سال 2001، Fourrier و همکارانش آزمایشهای تمیزکننده بخار را روی ذرات اشکال، اندازه و مواد مختلف انجام دادند تا شدت لیزر مورد نیاز برای ذرات مختلف را در دامنه دهها تا صدها نانومتر پیدا کنند. آستانه یکسان است این "آستانه به طور قابل ملاحظه ای" فراهم می کند حمایت مطلوب تر برای استفاده صنعتی از تمیز کردن لیزر بخار برای حذف ذرات زیر میکرون. اگر چه توسعه لیزر تمیز کردن بر اساس تمیز کردن ذرات جامد کوچک بر روی سطح است، تحقیق بر روی کاربردهای دیگر بر اساس آن انجام شده است. به عنوان مثال، در دهه 1970، پس از تحقیق و آزمایش، مشخص شد که لیزر تمیز کردن ساختمان های تاریخی و آثار هنری است. امکان پذیر است در سال 1992، یونسکو با استفاده از تمیزکننده لیزر برای ترمیم کلیسای جامع یاسمین در انگلستان با موفقیت استفاده کرد. بعضی از کشورهای اروپایی نیز لیزر کلیسای امیان (فرانسه)، کلیسای سنت استفان (وین، اتریش)، آرامگاه سرباز شناخته شده (ورشو، لهستان) را پاک کرده اند. استفاده از لیزر در سلب کردن نیز توجه محققان را جلب کرده است. Woodroffe و همکاران در ایالات متحده کار زیادی در این زمینه انجام داده است.
در دهه 1990، محققان در آلمان و ژاپن، لیزرهای TEA-CO2 با قدرت بالا را برای سایش رنگ لیزر توسعه دادند و از آنها برای انجام یک سری آزمایش استفاده کردند. تا سال 2005، محققان مقاله هایی درباره ساییدن هواپیما با استفاده از لیزرهای TEA-CO2 با قدرت بالا منتشر نکردند. دانشمندان کشورهای مختلف نیز تحقیقات زیادی را در زمینه استفاده از قالب های تایر، درمان سطح، زباله فضایی و سایر جنبه ها انجام داده اند و نتایج قابل توجهی را به دست آورده اند.
